Zer da Plasma Etcher bat?

Plasma grabagailua zehaztasunez prozesatzeko plasma teknologia erabiltzen duen gailu bat da. Plasma-energia handiko partikulen gasa da, erreaktibotasun kimiko eta prozesatzeko gaitasun handiak dituena. Plasma-grabagailuek propietate horiek erabiltzen dituzte mikro- eta nano-eskalako materialak zehatz grabatzeko edo metatzeko, eta horrela mikrogailu konplexuak sortzen dituzte.